带电粒子束装置
实质审查的生效
摘要
一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341631A
申请号 ：
CN201980099996.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2019-09-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
千叶宽幸陈伟健小松崎谅佐藤博文
申请人 ：
株式会社日立高新技术
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN201980099996.7
主分类号 ：
G01N23/2251
IPC分类号 ：
G01N23/2251 H01J37/22 H01J37/24 H01J37/252
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束，例如扫描电子显微镜
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/2251
申请日 : 20190904
申请日 : 20190904
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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