多束带电粒子束装置
避免重复授权放弃专利权
摘要
描述一种多束带电粒子束装置。所述多束带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射初级带电粒子束；孔隙布置，所述孔隙布置具有开口，所述孔隙布置被配置为至少产生所述初级带电粒子束的第一子束和第二子束；以及消隐装置，所述消隐装置包括：用于所述第一子束的至少第一消隐偏转器和用于所述第二子束的第二消隐偏转器；以及屏蔽组件，所述屏蔽组件具有部分地或完全地包围所述第一消隐偏转器的第一屏蔽元件。
基本信息
专利标题 ：
多束带电粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921108886.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-16
授权号 ：
CN210743909U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
本杰明·约翰·库克迪特尔·温克勒
申请人 ：
ICT集成电路测试股份有限公司
申请人地址 ：
德国巴伐利亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201921108886.6
主分类号 ：
H01J37/26
IPC分类号 ：
H01J37/26 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
法律状态
2021-08-10 ：
避免重复授权放弃专利权
避免重复授予专利权IPC(主分类) : H01J 37/26
申请日 : 20190716
授权公告日 : 20200612
放弃生效日 : 20210810
申请日 : 20190716
授权公告日 : 20200612
放弃生效日 : 20210810
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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