一种多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法，该装置具备：多个剂量数据生成电路，生成试样的描绘区域内的各位置的剂量数据；带余量块区域生成电路，生成在试样的各块区域的周围附加余量区域的多个带余量块区域；检测电路，检测缺陷射束；确定电路，确定缺陷射束照射的位置；所属判定电路，按照根据缺陷射束照射的位置成为多个子块区域的哪个区域来设定的条件，判定缺陷射束照射的位置所属的多个带余量块区域中的一个；缺陷射束校正电路，使用所属的带余量块区域内的各位置的剂量的数据，运算校正剂量异常的至少一个位置的校正剂量；描绘机构，使用校正剂量异常的至少一个位置的剂量被控制为校正剂量的多带电粒子束，在试样上描绘图案。