用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置

授权

摘要

描述了用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置。所述磁性透镜部件包括：线圈载体，所述线圈载体具有截锥形主体；导线，所述导线被配置为围绕所述线圈载体提供线圈；以及卷绕元件，所述卷绕元件至少部分地包围所述截锥形主体，所述卷绕元件具有狭缝开口。

基本信息

专利标题：

用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922212192.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-11

授权号：

CN212587450U

授权日：

2021-02-23

发明人：

费尔克斯·马蒂亚斯布鲁尔·约翰兰珀斯伯格·弗洛里安

申请人：

ICT集成电路测试股份有限公司

申请人地址：

德国巴伐利亚州

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国

优先权：

CN201922212192.3

主分类号：

H01J37/141

IPC分类号：

H01J37/141 H01J37/145 H01J37/28