用于带电粒子束的多极型偏转器和带电粒子束成像设备
授权
摘要
本公开提供一种用于带电粒子束的多极型偏转器、和一种带电粒子束成像设备。所述用于带电粒子束的多极型偏转器，包括：至少两对极部，每对极部中每个包括构造为呈圆弧形的主体，且每对极部的所述主体同心布置并且在直径方向上相对，且每个极部还具备从所述主体径向内侧向内突伸的凸出部，所述至少两对极部包围限定轴向敞开的通孔，所述通孔配置成用于通过待由所述偏转器偏转的所述带电粒子束，其中，所述偏转器的所述至少两对极部配置成协同工作以产生偏转所述带电粒子束的偏转场，所述偏转场分布于所述通孔内。
基本信息
专利标题 ：
用于带电粒子束的多极型偏转器和带电粒子束成像设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110660634A
申请号 ：
CN201910803416.X
公开（公告）日 ：
2020-01-07
申请日 ：
2019-08-28
授权号 ：
CN110660634B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
孟庆浪孙伟强赵焱
申请人 ：
中科晶源微电子技术（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
王益
优先权 ：
CN201910803416.X
主分类号 ：
H01J37/147
IPC分类号 ：
H01J37/147 H01J37/26 H01J37/28
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/147
沿所需路径导引或偏转电子流的装置
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-02-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/147
申请日 : 20190828
申请日 : 20190828
2020-01-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
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