带电粒子束装置
公开
摘要
本发明提供一种带电粒子束装置，其能够抑制数据量的增大，并且缩短方案评价所需的时间。带电粒子束装置具有：显微镜，其对试样扫描带电粒子束，检测从试样释放出的2次粒子来输出检测信号；以及计算机系统，其根据检测信号生成帧图像，进行基于帧图像的图像处理。计算机系统计算多个帧图像间的矩图像，并基于矩图像计算帧图像的特征量数据。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628210A
申请号 ：
CN202111170047.9
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
本美元伸山口聪酒井计西滨宽
申请人 ：
株式会社日立高新技术
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
范胜杰
优先权 ：
CN202111170047.9
主分类号 ：
H01J37/28
IPC分类号 ：
H01J37/28 G06V10/44 G06T7/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/26
电子或离子显微镜；电子或离子衍射管
H01J37/28
带有扫描射束的
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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