用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器和多束带电粒子束装置

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摘要

描述了一种用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器和多束带电粒子束装置。所述束转储器包括：环形主体，所述环形主体具有内周壁，所述内周壁限定用于使所述初级带电粒子子束通过的开口环带，所述环形主体进一步具有外周壁和底壁；环形电极，所述环形电极部分地在所述环形主体上方，所述环形电极具有内周侧和外周侧，其中所述内周侧在所述环形主体的所述内周壁的半径外。

基本信息

专利标题：

用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器和多束带电粒子束装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921119387.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-16

授权号：

CN210136840U

授权日：

2020-03-10

发明人：

本杰明·约翰·库克迪特尔·温克勒

申请人：

ICT集成电路测试股份有限公司

申请人地址：

德国巴伐利亚州

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

徐金国

优先权：

CN201921119387.7

主分类号：

H01J37/28

IPC分类号：

H01J37/28 H01J37/09 H01J37/26