带电粒子束装置和操作带电粒子束装置的方法
公开
摘要
带电粒子束装置(100)包括带电粒子源(105)和子束形成多孔板(110)。所述装置还包括：预补偿器(120)，所述预补偿器(120)用于减小子束在目标处的像差；扫描器，所述扫描器用于扫描子束中的每个子束；物镜(109)，所述物镜(109)用于使每个子束聚焦到目标上；以及控制器，所述控制器配置为与预补偿器和扫描器同步。预补偿器包括：至少一个“径向可变的”多孔电极(121)，其中所述至少一个“径向可变的”多孔电极(121)的每个孔的直径随着孔距光轴z的距离而缩放；以及至少一个“笛卡尔可变的”多孔电极(122)，其中所述至少一个“笛卡尔可变的”多孔电极(122)的每个孔的直径随着孔的位置的x分量而缩放。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束装置和操作带电粒子束装置的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114586128A
申请号 ：
CN202080070186.1
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-09-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·J·库克
申请人 ：
ICT半导体集成电路测试有限公司
申请人地址 ：
德国海姆斯特滕
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN202080070186.1
主分类号 ：
H01J37/147
IPC分类号 ：
H01J37/147 H01J37/153 H01J37/09 H01J37/10 H01J37/28 H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/147
沿所需路径导引或偏转电子流的装置
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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