一种多方向带电粒子束流转向装置
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种多方向带电粒子束流转向装置,真空腔体横截面为正八面体结构;真空腔体的侧面安装一真空连接窗口,真空连接窗口作为带电粒子束流出入真空腔体的通道;真空腔体内部均匀设置八组分别连接一高压电源装置的电极柱;由电极柱产生供带电粒子束流转向的综合电场区;每个真空连接窗口同轴安装一辅助电极,辅助电极深入综合电场区,辅助电极用于引导带电粒子束流按照辅助电极的轴线方向进入真空腔体内,从而切入综合电场区以及引导从真空腔体内出去。结构加工简单,易于提高机械加工精度,实现多个转向,增加带电粒子束流的使用效率。

基本信息
专利标题 :
一种多方向带电粒子束流转向装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114429893A
申请号 :
CN202111620324.1
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2021-12-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄良玉傅云清姚科
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
上海市杨浦区邯郸路220号
代理机构 :
上海申新律师事务所
代理人 :
吴轶淳
优先权 :
CN202111620324.1
主分类号 :
H01J37/147
IPC分类号 :
H01J37/147  H01J37/21  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/147
沿所需路径导引或偏转电子流的装置
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/147
申请日 : 20211227
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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