一种微型微弱带电粒子束流探测装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种微型微弱带电粒子束流探测装置,包括:电子抑制极,用于抑制二次电子;束流吸收极,用于吸收带电粒子束流;信号放大极,用于产生二次放大的电子流;信号吸收极,用于探测吸收总的放大电流信号;电子抑制极、束流吸收极、信号放大极和信号吸收极分别为沿迎面带电束流方向依次设置,探测装置的工作环境为真空环境。与现有技术相比,本发明具有探测精度高、生产成本低、易于加工等优点。

基本信息
专利标题 :
一种微型微弱带电粒子束流探测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114355432A
申请号 :
CN202111648737.0
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄良玉王银涛牛犇何贞岑江紫环刘佳林傅云清姚科
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
上海市杨浦区邯郸路220号
代理机构 :
上海科盛知识产权代理有限公司
代理人 :
赵志远
优先权 :
CN202111648737.0
主分类号 :
G01T1/29
IPC分类号 :
G01T1/29  H01J47/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01T
核辐射或X射线辐射的测量
G01T1/175
电源电路
G01T1/29
对辐射束流的测量,例如,测量射束位置或截面;辐射的空间分布的测量
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01T 1/29
申请日 : 20211230
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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