确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法、确定带电粒...
公开
摘要
确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法包括以下步骤：a)获取样品的两个或更多个图像，其中每个图像以在带电粒子束工具的测量条件中的已知相对差获取；b)针对表示由带电粒子束工具使用的带电粒子束的探测轮廓的像差，选择所估计的像差参数；c)评估误差函数，误差函数指示两个或更多个图像与所估计的两个或更多个图像之间的差，所估计的两个或更多个图像是所估计的像差参数和测量条件中的已知相对差的函数；d)更新所估计的像差参数；e)迭代地执行步骤c)和d)；f)将最终像差参数确定为所估计的提供误差函数的最小值的像差参数。
基本信息
专利标题 ：
确定由带电粒子束工具获取的图像中的像差的方法、确定带电粒子束工具的设置的方法和带电粒子束工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114631164A
申请号 ：
CN202080073990.5
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邵屹峰M·R·古森
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
赵林琳
优先权 ：
CN202080073990.5
主分类号 ：
H01J37/153
IPC分类号 ：
H01J37/153 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/153
用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
