本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。