带电粒子束装置
授权
摘要
本发明的提供带电粒子束装置，其能够容易执行使入射到试样的电子束减速的电极与试样的适当且高精度的位置对齐。该带电粒子束装置(10)具有试样室(110)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)、以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有电极部件(45)。该电极部件(45)设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位，并形成有使电子束通过的电极贯通孔。带电粒子束装置(10)具有使电极部件(45)移位的驱动机构(42)、对电极部件(45)施加负电压的电源(20)、以及对试样室(11)和驱动机构(42)与电极部件(45)进行电绝缘的绝缘部件(43)。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108666192A
申请号 ：
CN201810233827.5
公开（公告）日 ：
2018-10-16
申请日 ：
2018-03-21
授权号 ：
CN108666192B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
岩堀敏行
申请人 ：
日本株式会社日立高新技术科学
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
李辉
优先权 ：
CN201810233827.5
主分类号 ：
H01J37/04
IPC分类号 ：
H01J37/04 H01J37/147 H01J37/20
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-03-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/04
申请日 : 20180321
申请日 : 20180321
2018-10-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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