带电粒子束装置、物镜模块以及电极装置
授权
摘要
描述了一种用于检查样本的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包括：束源，所述束源用于发射带电粒子束；电极，所述电极用于影响所述带电粒子束；以及阻尼单元，所述阻尼单元设在所述电极上以用于抑制所述电极的振动。此外，描述了一种具有电极的物镜模块，其中阻尼单元设在所述电极上。此外，描述了一种电极装置，其中质量阻尼器安装在所述电极装置的盘状电极主体上。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束装置、物镜模块以及电极装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020876612.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-22
授权号 ：
CN212625479U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
马蒂亚斯·费尔克斯约翰·布鲁尔弗洛里安·兰珀斯伯格汉诺·卡普斯特凡·拉尼奥
申请人 ：
ICT集成电路测试股份有限公司
申请人地址 ：
德国巴伐利亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202020876612.8
主分类号 ：
H01J37/04
IPC分类号 ：
H01J37/04 H01J37/147 H01J37/28
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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