带电粒子束装置
授权
摘要
本发明提供一种带电粒子束装置，能够检测在光轴附近通过的能量高的信号电子，例如背散射电子(BSE)、辅助光学系统中的二次电子(SE)。因此，该带电粒子束装置具有：带电粒子束源(101)，其产生带电粒子束；物镜(105)，其将带电粒子束聚集于试样；以及带电粒子检测元件(108)，其配置于带电粒子束源(101)与物镜(105)之间，且检测通过带电粒子束与试样的相互作用而产生的带电粒子，其中，带电粒子检测元件(108)的检测面配置于物镜(105)的中心轴上。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110709960A
申请号 ：
CN201780091345.4
公开（公告）日 ：
2020-01-17
申请日 ：
2017-06-02
授权号 ：
CN110709960B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
野间口恒典本村俊一西中健一扬村寿英
申请人 ：
株式会社日立高新技术
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
张敬强
优先权 ：
CN201780091345.4
主分类号 ：
H01J37/244
IPC分类号 ：
H01J37/244 H01J37/09
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/244
检测器；所采用的组件或电路
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2020-02-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/244
申请日 : 20170602
申请日 : 20170602
2020-01-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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