本发明提供了一种带电粒子束装置及调整方法，所述装置包括：第一聚焦透镜和第二聚焦透镜对带电粒子束进行聚焦；第一偏转电极用于使所述带电粒子束偏转并能到达所述第二聚焦透镜的出口孔的所有区域，以获取所述第二聚焦透镜的出口孔的图像；计算单元根据所述第二聚焦透镜的出口孔的图像，确定所述第二聚焦透镜的中心位置；调节系统基于所述第二聚焦透镜的中心位置，将所述带电粒子束的中心位置、所述第一聚焦透镜的中心位置调节至所述第二聚焦透镜的中心位置所在的竖直线上。本发明通过确定所述第二聚焦透镜的中心位置来调节所述带电粒子束和第一聚焦透镜的位置，减少待测样品的成像球差，并提高了所述带电粒子束装置的分辨率。