试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置
实质审查的生效
摘要
本发明可靠地利用试样支架对液体状或凝胶状的试样进行保持，提高利用带电粒子束装置进行观察的合格率。试样支架(101)具有：第一部件(102)，其具有盖部件(111)和具备形成有包括第一绝缘性薄膜(104)在内的层叠膜的第一窗口(123)的第一芯片(105)；以及第二部件(103)，其具有形成有第一底部密封面(203)及第二底部密封面(200)的母材(127)、配置于母材的电极(108)以及第二芯片(107)，该第二芯片(107)具备形成有第二绝缘性薄膜(106)的第二窗口(124)，且以使第二窗口与电极对置的方式经由第二密封件(119)保持在第二底部密封面上，第一部件与第二部件组合，第一密封件在第一底部密封面以及盖部件的上部密封面之间被压扁，由此比第一密封件靠内部的区域相对于第一密封件的外部的区域保持为气密。
基本信息
专利标题 ：
试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556514A
申请号 ：
CN201980101094.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2019-10-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
波田野道夫中村光宏小椋俊彦
申请人 ：
株式会社日立高新技术;国立研究开发法人产业技术综合研究所
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾贤伟
优先权 ：
CN201980101094.2
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/20
申请日 : 20191010
申请日 : 20191010
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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