本公开涉及一种确定带电粒子束的能量宽度的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子束；将所述射束引向样本；以及从透射穿过所述样本的带电粒子流形成能量分散束。如这里所定义的，所述方法包含以下步骤：在狭缝平面中提供狭缝元件，并且使用所述狭缝元件来阻挡所述能量分散束的一部分，以及以这样的方式在所述狭缝平面的位置处修改所述能量分散束，即所述能量分散束在所述狭缝元件处被部分阻挡的步骤。对所述能量分散束的未阻挡部分进行成像，并且确定所述成像的能量分散束的强度梯度，利用所述强度梯度可以确定所述带电粒子束的所述能量宽度。