使用多个带电粒子束的设备
授权
摘要
本文中公开了一种设备，其包括：第一导电层；第二导电层；多个光学元件，在第一导电层和第二导电层之间，其中多个光学元件被配置为影响多个带电粒子束；第三导电层，在第一导电层和第二导电层之间；以及电绝缘层，物理连接到光学元件，其中电绝缘层被配置为使光学元件与第一导电层和第二导电层电绝缘。
基本信息
专利标题 ：
使用多个带电粒子束的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110574139A
申请号 ：
CN201880027803.2
公开（公告）日 ：
2019-12-13
申请日 ：
2018-04-04
授权号 ：
CN110574139B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
胡学让任伟明刘学东陈仲玮
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
李春辉
优先权 ：
CN201880027803.2
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/147 H01J37/12
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-01-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/317
申请日 : 20180404
申请日 : 20180404
2019-12-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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