永磁介磁组合悬浮转子微陀螺
专利权的终止
摘要

一种微机电技术领域的永磁介磁组合悬浮转子微陀螺,包括:上定子、支撑环、下定子、转子,上定子设置介磁材料层,在介磁材料层上表面设置绝缘支撑层,在绝缘支撑层外表面的中心设置公共电极,从内向外在绝缘支撑层外表面依次设置8个扇形检测加矩电极、18个扇形旋转电极,在介磁材料层下表面设置永磁材料层;下定子设置介磁材料层,在介磁材料层上设置绝缘支撑层,在绝缘支撑层上外表面的中心设置公共电极,从内向外在绝缘支撑层外表面依次设置8个扇形检测加矩电极、18个扇形旋转电极;转子为外齿型转子或者内含齿转子。本发明微功耗、尺寸小,使用微加工技术一体化制造,无需手工装配,大大提高了器件的可靠性,具有成本低、可批量化的特点。

基本信息
专利标题 :
永磁介磁组合悬浮转子微陀螺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1776366A
申请号 :
CN200510110655.5
公开(公告)日 :
2006-05-24
申请日 :
2005-11-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张卫平陈文元刘武赵小林
申请人 :
上海交通大学
申请人地址 :
200240上海市闵行区东川路800号
代理机构 :
上海交达专利事务所
代理人 :
王锡麟
优先权 :
CN200510110655.5
主分类号 :
G01C19/24
IPC分类号 :
G01C19/24  G01C19/02  G01P9/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/02
旋转式陀螺仪
G01C19/04
零部件
G01C19/16
悬挂装置;轴承
G01C19/24
应用磁场或静电场
法律状态
2013-01-23 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101384117607
IPC(主分类) : G01C 19/24
专利号 : ZL2005101106555
申请日 : 20051124
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20111124
2009-07-08 :
授权
2006-07-19 :
实质审查的生效
2006-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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