半导体制造用自动化物料运输系统

专利权的终止

摘要

本发明提供了一种半导体制造用自动化物料运输系统，包括：至少一个储料箱，每个储料箱至少包含一个储料单元；以及输送机构，所述输送机构其至少包括一个在屋顶的轨道上运行的空中运输车，所述空中运输车至少包含一个机械臂，所述机械臂从选择的储料单元中拾取至少一组物料，并随后输送到预定位置，所述储料箱的高度为屋顶到地板距离的三分之一到二分之一。本发明的自动化物料运输系统节省了FAB内的立体空间，为其它设备的摆放提供了空间，方便了操作人员在工位之间的移动，而且储料箱自身也便于移动。

基本信息

专利标题：

半导体制造用自动化物料运输系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1988125A

申请号：

CN200510111678.8

公开（公告）日：

2007-06-27

申请日：

2005-12-19

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

赵增利郭延中马魁武丁江波

申请人：

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

优先权：

CN200510111678.8

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 B65G49/07

相关图片

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/677

用于传送的，例如在不同的工作站之间

法律状态

2019-12-06 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20051219
授权公告日 : 20081119
终止日期 : 20181219

2011-12-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101238306825
IPC(主分类) : H01L 21/677
专利号 : ZL2005101116788
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
登记生效日 : 20111108

2008-11-19 ：

授权

2007-08-22 ：

实质审查的生效

2007-06-27 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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2、

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