信息记录介质检查装置和方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明公开了一种检查装置，其中电子枪(12)利用电子束照射信息记录介质上的所希望的位置。载物台(18)保持信息记录介质，使得信息记录介质可以沿旋转方向和径向方向移动。检测器(22)通过利用电子束照射信息记录介质，来检测已经获得信息记录介质之表面的信息的电子。图像产生单元(24)根据由检测器(22)检测的电子来获得信息记录介质之表面的图像。检查装置可以检查是否诸如CD和DVD的信息记录介质上存储缺陷，而且可以检查其缺陷的形状。检查装置还可以检查具有大存储容量的信息记录介质。
基本信息
专利标题 ：
信息记录介质检查装置和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1776413A
申请号 ：
CN200510113505.X
公开（公告）日 ：
2006-05-24
申请日 ：
2005-10-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
远山敬一野路伸治吉川省二
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
夏青
优先权 ：
CN200510113505.X
主分类号 ：
G01N23/04
IPC分类号 ：
G01N23/04 G01N21/892
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/02
通过使辐射透过材料
G01N23/04
并形成材料的图片
法律状态
2010-07-21 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101003340550
IPC(主分类) : G01N 23/04
专利申请号 : 200510113505X
公开日 : 20060524
号牌文件序号 : 101003340550
IPC(主分类) : G01N 23/04
专利申请号 : 200510113505X
公开日 : 20060524
2007-06-27 ：
实质审查的生效
2006-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
