统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法
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摘要
本发明提供一种统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法，所述用于统计制程分析的系统，其包括一储存装置、一控制装置、及一侦测装置。该储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一系统收集来的数据。该控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型。该侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。本发明可在制造环境中对大量数据进行收集、分析和判断，以实现对制程快速、有效的控制。
基本信息
专利标题 ：
统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790312A
申请号 ：
CN200510115878.0
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-11-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄明彰陈明发
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN200510115878.0
主分类号 ：
G06F17/00
IPC分类号 ：
G06F17/00 G06F17/40 G06F19/00 G06Q50/00 G05B19/418 G05B23/00 H01L21/00 H01L21/02
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06F
电数字数据处理
G06F17/00
特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法
法律状态
2008-07-02 ：
授权
2006-08-16 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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