共焦点光学装置和球面像差校正方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
以提供减少了球面像差的产生的共焦点光学装置和球面像差校正方法为目的。备有:驱动机构,其移动样本台,以改变物镜和样本台的间隔;球面像差校正部,其配置在光源和物镜之间;基准位置检测部,根据光检测器得到的检测结果,检测物镜的焦点位置对准样本的表面时的样本台的位置;移动量导出部,根据光检测器得到的检测结果,运算物镜的焦点位置对准样本内的测量对象之前的样本台的移动量,并导出测量对象的样本内深度;校正控制部,根据测量对象的样本内深度,控制球面像差校正元件(4)。
基本信息
专利标题 :
共焦点光学装置和球面像差校正方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1773212A
申请号 :
CN200510120034.5
公开(公告)日 :
2006-05-17
申请日 :
2005-11-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
伊藤达男盐野照弘久田和也
申请人 :
松下电器产业株式会社
申请人地址 :
日本大阪府
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
汪惠民
优先权 :
CN200510120034.5
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2010-12-29 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101058384650
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利申请号 : 2005101200345
公开日 : 20060517
号牌文件序号 : 101058384650
IPC(主分类) : G01B 11/06
专利申请号 : 2005101200345
公开日 : 20060517
2007-08-15 :
实质审查的生效
2006-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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