以提供减少了球面像差的产生的共焦点光学装置和球面像差校正方法为目的。备有：驱动机构，其移动样本台，以改变物镜和样本台的间隔；球面像差校正部，其配置在光源和物镜之间；基准位置检测部，根据光检测器得到的检测结果，检测物镜的焦点位置对准样本的表面时的样本台的位置；移动量导出部，根据光检测器得到的检测结果，运算物镜的焦点位置对准样本内的测量对象之前的样本台的移动量，并导出测量对象的样本内深度；校正控制部，根据测量对象的样本内深度，控制球面像差校正元件(4)。