探针卡的探针及其制法
专利权的终止
摘要
本发明是一种探针卡的探针及其制法，可较为容易地控制各探针的尺寸精度与刚性，使各探针的强度、刚性与电性品质皆较佳；探针包含有一本体，本体具有一悬臂梁，至少一导电层迭设于悬臂梁的表面，导电层及悬臂梁之间具有一介电层；各导电层是先以电铸方式堆栈于本体的悬臂梁上，再以研磨加工方式控制其设于悬臂梁的厚度。
基本信息
专利标题 ：
探针卡的探针及其制法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1971287A
申请号 ：
CN200510124837.8
公开（公告）日 ：
2007-05-30
申请日 ：
2005-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈志忠
申请人 ：
旺矽科技股份有限公司
申请人地址 ：
台湾省新竹县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周国城
优先权 ：
CN200510124837.8
主分类号 ：
G01R1/067
IPC分类号 ：
G01R1/067 G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2020-10-30 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01R 1/067
申请日 : 20051122
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20191122
申请日 : 20051122
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20191122
2009-07-22 ：
授权
2007-07-25 ：
实质审查的生效
2007-05-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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