探针卡的探针装置

专利权的终止

摘要

一种探针卡的探针装置，包含有一基座与一转换件；基座包括有一本体以及一主电路层，本体设有多数第一导体，主电路层设有多数第二导体，主电路层设于本体，使各第二导体电性连通于各第一导体，转换件具有多数第三导体，转换件设于主电路层，使各第三导体电性连通于各该第二导体；由此，本发明可依需要而制作尺寸精度较佳的本体与主电路层，再将本体及主电路层设于结构强度较高，但制作精度相对于本体及主电路层较低的转换件，即可使制作成本较低，而且位置尺寸的控制较为容易。

基本信息

专利标题：

探针卡的探针装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1955743A

申请号：

CN200510118021.4

公开（公告）日：

2007-05-02

申请日：

2005-10-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

陈志忠范宏光

申请人：

旺矽科技股份有限公司

申请人地址：

台湾省新竹县

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周长兴

优先权：

CN200510118021.4

主分类号：

G01R1/073

IPC分类号：

G01R1/073 G01R1/067 G01R31/26 H01L21/66