探针
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
横梁部(3)通过支撑部(2)而单臂支撑在探针基板(1)上,在横梁部(3)与探针基板(1)之间具有规定的间隔。在横梁部(3)上设有向远离探针基板(1)的方向延伸的触头(4)。另外,在横梁部(3)上设有向探针基板(1)延伸的突起5。当向探针基板(1)施加负载时,突起(5)与探针基板(1)抵接,由此可以分散施加在横梁部(3)上的应力。
基本信息
专利标题 :
探针
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1942769A
申请号 :
CN200580011928.9
公开(公告)日 :
2007-04-04
申请日 :
2005-10-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
八壁正巳星野智久池内直树
申请人 :
东京毅力科创株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 :
王怡
优先权 :
CN200580011928.9
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2009-02-11 :
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-05-30 :
实质审查的生效
2007-04-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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