探针头和制造该探针头的方法

专利权的终止

摘要

本发明提供了一种探针头和制造该探针头的方法。该探针头包括传感器单元，该传感器单元具有：传感器，其在预定的记录介质上记录数据或从预定的记录介质读取数据；第一屏蔽和第二屏蔽，以相互间预定的距离置于传感器的两侧；第一中间层和第二中间层，分别位于传感器和第一屏蔽之间以及传感器和第二屏蔽之间。该方法包括：提供基板；在基板上形成绝缘层；在绝缘层上形成第一屏蔽；在第一屏蔽上形成第一中间层；在第一中间层上形成传感器；在传感器上形成第二中间层；在第二中间层上形成第二屏蔽；在第二屏蔽上形成保护层。因此，可同时改进探针头的分辨能力和灵敏度，且可易于制造该探针头。

基本信息

专利标题：

探针头和制造该探针头的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1822154A

申请号：

CN200510117761.6

公开（公告）日：

2006-08-23

申请日：

2005-11-10

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

南润宇金庸洙

申请人：

三星电子株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司

代理人：

李瑞海

优先权：

CN200510117761.6

主分类号：

G11B9/00

IPC分类号：

G11B9/00 G12B21/02 G01R1/067