探针卡及其制造方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种探针卡，包括第一微探头(MPH)、第二MPH及探针。该第一MPH包括第一导电线路，所述第一导电线路中输入测试信号用于测试具有外端子的对象。所述第二MPH包括分别与该第一导电线路电连接并且相对应于该外端子排列的第二导电线路。该第二MPH与该第一MPH可拆分地结合。该探针分别与该第二导电线路电连接，从而分别与该外端子接触。由此，根据该对象的替换，仅需将该第二MPH替换为新的，从而节省了制造该探针卡的时间及成本。
基本信息
专利标题 ：
探针卡及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101164152A
申请号 ：
CN200680009115.0
公开（公告）日 ：
2008-04-16
申请日 ：
2006-03-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李亿基
申请人 ：
飞而康公司;李亿基
申请人地址 ：
大韩民国首尔市
代理机构 ：
上海恩田旭诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹洪波
优先权 ：
CN200680009115.0
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2011-02-09 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101066311818
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利申请号 : 2006800091150
公开日 : 20080416
号牌文件序号 : 101066311818
IPC(主分类) : H01L 21/66
专利申请号 : 2006800091150
公开日 : 20080416
2008-06-11 ：
实质审查的生效
2008-04-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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