探测器及其制造方法
专利权的终止
摘要
探针(20)包括：悬臂(21)、柱状部(22)以及顶部(23)，以在悬臂(21)的一端悬臂支承的方式形成柱状部(22)，在柱状部(22)的顶端形成有顶部(23)。柱状部(22)的高度大于顶部(23)的高度，选择柱状部(22)与顶部(23)的高度使其为宽度的2倍以上。
基本信息
专利标题 ：
探测器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101023363A
申请号 ：
CN200580031215.9
公开（公告）日 ：
2007-08-22
申请日 ：
2005-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
星野智久山西良树桥本浩幸
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
柳春雷
优先权 ：
CN200580031215.9
主分类号 ：
G01R1/067
IPC分类号 ：
G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2016-12-07 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101691180711
IPC(主分类) : G01R 1/067
专利号 : ZL2005800312159
申请日 : 20051020
授权公告日 : 20100113
终止日期 : 20151020
号牌文件序号 : 101691180711
IPC(主分类) : G01R 1/067
专利号 : ZL2005800312159
申请日 : 20051020
授权公告日 : 20100113
终止日期 : 20151020
2010-01-13 ：
授权
2007-10-17 ：
实质审查的生效
2007-08-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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