感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜，特别是包含碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜。本发明感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜，可在激光的直接曝光下形成图像，易于形成高集成度细微图像，具有良好的光敏度和分辨率，并对基板具有优秀的粘附特性。

基本信息

专利标题：

感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1782873A

申请号：

CN200510125866.6

公开（公告）日：

2006-06-07

申请日：

2005-11-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

尹仁镐金奉玘卢昌锡姜相起卞景绿朴赞硕

申请人：

东进世美肯株式会社

申请人地址：

韩国仁川市

代理机构：

北京金信立方知识产权代理有限公司

代理人：

南霆

优先权：

CN200510125866.6

主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/004 G03F7/20 H01J17/49

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/004

感光材料

法律状态

2017-01-18 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101697777128
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利号 : ZL2005101258666
申请日 : 20051130
授权公告日 : 20100707
终止日期 : 20151130

2010-07-07 ：

授权

2007-05-16 ：

实质审查的生效

2006-06-07 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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