本发明涉及一种抽真空阀门控制装置，包括旁路阀1、隔离阀2、阀门控制单元3，旁路阀1和隔离阀2并联在真空泵5和被抽真空腔室6之间，阀门控制单元3控制阀门1、2的开闭，还设有一个真空开关4，真空开关4检测被抽真空腔室6的压力，并比较阀门开闭压力标准值，根据比较结果发送打开/关闭旁路阀和/或隔离阀的开关触点信号给阀门控制单元3，阀门控制单元3根据检测结果确定时间控制旁路阀1和/或隔离阀2的开闭。使用本装置可以在对反应腔室抽真空的过程中有效的控制颗粒污染，并且在机台状态如腔室状态、真空泵抽速改变的时候同样可以有效的控制颗粒污染。