大型防护胶膜组件

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供一种大型防护胶膜组件，其能够于不使用溶剂等且不伴随黏接剂凝集破坏下，将防护胶膜组件自曝光光罩分离。本发明的防护胶膜组件，包括：防护胶膜框体，具有上侧面与下侧面，呈边长30cm以上的四边形；防护胶膜膜片，张设于该防护胶膜框体上侧面；以及黏接层，于该防护胶膜框体下侧面，用以贴附防护胶膜框体与曝光光罩；其特征为：该黏接层具有将该黏接层自防护胶膜框体或曝光光罩剥离时，不会发生凝集破坏的凝集破断强度。

基本信息

专利标题：

大型防护胶膜组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1779567A

申请号：

CN200510126742.X

公开（公告）日：

2006-05-31

申请日：

2005-11-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

滨田裕一

申请人：

信越化学工业株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

魏晓刚

优先权：

CN200510126742.X

主分类号：

G03F1/14

IPC分类号：

G03F1/14 H01L21/027