利用多物镜的自动光学检测

专利权的终止

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摘要

本发明涉及一种利用每一照相机都具有的多物镜图像扫描模块的自动光学检测(AOI)装置及技术。一扫描机构包括多种光学组件，以依次从每一多物镜引导光学信号至相应的照相机。

基本信息

专利标题：

利用多物镜的自动光学检测

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1815204A

申请号：

CN200510134032.1

公开（公告）日：

2006-08-09

申请日：

2005-12-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

吉拉德·阿尔莫格布赖恩·C·博尔特奥代德·阿尔诺内波阿斯·凯南布德·蒂罗什迈克尔·科利斯

申请人：

应用材料股份有限公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

上海新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

优先权：

CN200510134032.1

主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G01N21/956 H01L21/66

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01N

借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料

G01N21/00

利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料

G01N21/84

专用于特殊应用的系统

G01N21/88

测试瑕疵、缺陷或污点的存在

G01N21/95

特征在于待测物品的材料或形状

G01N21/956

检测物品表面上的图案

法律状态

2014-02-19 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101571575059
IPC(主分类) : G01N 21/88
专利号 : ZL2005101340321
申请日 : 20051221
授权公告日 : 20100811
终止日期 : 20121221

2012-01-18 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101266721164
IPC(主分类) : G01N 21/88
专利号 : ZL2005101340321
变更事项 : 专利权人
变更前 : 应用材料股份有限公司
变更后 : 应用材料公司
变更事项 : 地址
变更前 : 美国加利福尼亚州
变更后 : 美国加利福尼亚州

2010-08-11 ：

授权

2008-04-02 ：

实质审查的生效

2006-08-09 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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2、

CN1815204B.PDF

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