压电元件和压电激励器和压电泵及喷墨式记录头
专利权的终止
摘要
一种压电元件(10)包含:基板(1);基板(1)上方形成的第1导电层(4);在第1导电层(4)上方形成的、由具有钙钛矿结构的压电体构成的压电体层(5);以及电连接在压电体层(5)上的第2导电层(6),第1导电层(4)包含由在(001)优先取向的镍酸镧构成的导电性氧化层(42),镍酸镧缺欠氧。由此,本发明提供一种能够得到良好的压电特性的压电元件。
基本信息
专利标题 :
压电元件和压电激励器和压电泵及喷墨式记录头
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1805163A
申请号 :
CN200510134074.5
公开(公告)日 :
2006-07-19
申请日 :
2005-12-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
岩下节也木岛健大桥幸司
申请人 :
精工爱普生株式会社
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
李香兰
优先权 :
CN200510134074.5
主分类号 :
H01L41/08
IPC分类号 :
H01L41/08 H01L41/18
法律状态
2020-12-04 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 41/08
申请日 : 20051223
授权公告日 : 20090520
终止日期 : 20191223
申请日 : 20051223
授权公告日 : 20090520
终止日期 : 20191223
2009-05-20 :
授权
2006-09-13 :
实质审查的生效
2006-07-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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