压电元件
实质审查的生效
摘要

在压电元件(100)中,第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。

基本信息
专利标题 :
压电元件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114342098A
申请号 :
CN202080062313.3
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2020-05-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
岸本谕卓池内伸介铃木胜之黑川文弥
申请人 :
株式会社村田制作所
申请人地址 :
日本京都府
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
李国华
优先权 :
CN202080062313.3
主分类号 :
H01L41/047
IPC分类号 :
H01L41/047  H01L41/187  H01L41/29  H03H9/17  
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/047
申请日 : 20200525
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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