零阿贝误差测量系统及其方法
专利权的终止
摘要
一种零阿贝误差测量系统，其包括移动平台、检测装置以及第一与第二三维光学尺。移动平台是用以载置待测量样本。检测装置用以检测待测量样本，并测量待测量样本的待测点相对于移动平台的垂直高度。第一与第二三维光学尺分别设置在移动平台上且隔着待测量样本彼此相对，其中第一与第二三维光学尺可垂直该移动平台进行高度微调，使第一与第二三维光学尺相对于移动平台的垂直高度与待测点的垂直高度相等，以进行待测量样本的测量。
基本信息
专利标题 ：
零阿贝误差测量系统及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1991333A
申请号 ：
CN200510137450.6
公开（公告）日 ：
2007-07-04
申请日 ：
2005-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴乾埼翁汉甫许正治王振宇温博浚
申请人 ：
财团法人工业技术研究院
申请人地址 ：
台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
王永红
优先权 ：
CN200510137450.6
主分类号 ：
G01N13/10
IPC分类号 ：
G01N13/10 G12B21/20 G01B11/14
法律状态
2018-02-16 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01Q 10/00
申请日 : 20051230
授权公告日 : 20101110
终止日期 : 20161230
申请日 : 20051230
授权公告日 : 20101110
终止日期 : 20161230
2010-11-10 ：
授权
2007-08-29 ：
实质审查的生效
2007-07-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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