干涉条纹自动对焦与自动检测方法
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摘要

一种干涉条纹自动对焦与自动检测方法,适用于光学干涉系统,包括:撷取多个干涉图像。每一该干涉图像是由多个像素所构成,每一上述这些像素有对应的像素强度。记录每一上述这些干涉图像的位置,清晰度与对比度。该清晰度与该对比度是根据清晰度计算与对比度计算获得。分析上述这些干涉图像的上述这些清晰度,获得与上述这些干涉图像位置相对应的清晰度分布曲线,以得出一最佳清晰度位置,作为该光学干涉系统的聚焦位置。分析上述这些干涉图像的上述这些对比度,获得对比度分布曲线。决定干涉扫描范围,其中该对比度分布曲线被独立分析,或是该对比度分布曲线与该清晰度分布曲线被混合分析,以决定该干涉扫描范围。

基本信息
专利标题 :
干涉条纹自动对焦与自动检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1991341A
申请号 :
CN200510137455.9
公开(公告)日 :
2007-07-04
申请日 :
2005-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈金亮高清芬张中柱
申请人 :
财团法人工业技术研究院
申请人地址 :
台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号
代理机构 :
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 :
胡光星
优先权 :
CN200510137455.9
主分类号 :
G01N21/95
IPC分类号 :
G01N21/95  G01N21/45  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2009-05-27 :
授权
2007-08-29 :
实质审查的生效
2007-07-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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