用于电化学、电学或形貌分析的传感器
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
提供了用于进行电学、电化学或形貌分析的传感器和系统，以及制造这些传感器的方法。所述传感器包括悬臂和一个或多个探针，每个探针的尖端具有一个电极。所述探针的尖端是尖锐的，曲率半径约小于50纳米。另外，所述探针具有约大于19∶1的高长宽比。所述传感器适用于原子力显微镜和扫描电化学显微镜。
基本信息
专利标题 ：
用于电化学、电学或形貌分析的传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101176167A
申请号 ：
CN200580032008.5
公开（公告）日 ：
2008-05-07
申请日 ：
2005-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
F·B·普林兹Y·陶R·J·法斯钦R·S·格瑞科K·哈默里克R·L·史密斯
申请人 ：
利兰·斯坦福青年大学托管委员会
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沙永生
优先权 ：
CN200580032008.5
主分类号 ：
G12B21/02
IPC分类号 ：
G12B21/02 B82B1/00 G12B21/06 B82B3/00 G01N13/10 H01L21/3065 G01N13/24
法律状态
2010-08-25 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101006992021
IPC(主分类) : G12B 21/02
专利申请号 : 2005800320085
公开日 : 20080507
号牌文件序号 : 101006992021
IPC(主分类) : G12B 21/02
专利申请号 : 2005800320085
公开日 : 20080507
2008-07-02 ：
实质审查的生效
2008-05-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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