一种用于形成分裂式薄膜电容器的设备和方法，可以用在空间受限的应用中，以及在电耗装置和电源之间需要非常紧密的电连接的应用中，分裂式薄膜电容器用于向诸如集成电路之类的电器件提供多个功率和参考电源电压电平。空间受限的应用和紧密耦合应用的实例都可以是诸如微处理器之类的集成电路(IC)。向微处理器提供并调节功率的电容器需要紧密耦合，以便响应可能在高时钟率的微处理器中出现的瞬时功率需求，并且微处理器封装中的空间非常受限。微处理器可以对微处理器的快速核心逻辑部中的最小尺寸快速晶体管使用低压电源电平，并对微处理器的高速缓存部件和I/O晶体管部件使用高于正常的电压电源电压电平。因而可以需要用具有多功率和参考电压电平的紧凑电容器来提供高频IC所需的功率。