测试装置、测试方法、电子设备、以及设备生产方法

授权

摘要

本发明提供一种测试装置，对包含场效应晶体管的电子设备进行测试，且该测试装置包括：电源，供给电子设备驱动用的电力；图案产生部，依次产生并供给多个测试图案，所述多个测试图案应供给到电子设备中；泄漏电流检测部，对场效应晶体管的泄漏电流进行检测；电压控制部，对施加到设置着场效应晶体管的衬底的衬底电压进行控制，以使由泄漏电流检测部所检测的泄漏电流成为规定的值；以及电源电流测定部，在每次施加各个测试图案时，对输入到电子设备中的电源电流进行测定，并根据经测定的电源电流来判定电子设备的良否。

基本信息

专利标题：

测试装置、测试方法、电子设备、以及设备生产方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101036063A

申请号：

CN200580033559.3

公开（公告）日：

2007-09-12

申请日：

2005-10-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

古川靖夫

申请人：

爱德万测试株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200580033559.3

主分类号：

G01R31/317

IPC分类号：

G01R31/317