涡轮分子泵的轴封防尘结构
授权
摘要
本发明提供一种涡轮分子泵的轴封防尘结构，对于进行腐蚀性气体、含有粉尘等微粒子的气体的真空排气的涡轮分子泵，可以防止所述腐蚀性气体及微粒子侵入到该涡轮分子泵的电机机壳内。即，电机机壳5具有吹扫气体供给口5a的涡轮分子泵中，从所述电机机壳5通往泵室8的吹扫气体路径中，设置了由设置于突出在转子1圆盘1a中心部的突起部1b外周部的间隙密封部3a，和具有设置于所述圆盘1a面上的离心叶片1c的离心叶片防尘部3b组成的轴封部。
基本信息
专利标题 ：
涡轮分子泵的轴封防尘结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101044323A
申请号 ：
CN200580036121.0
公开（公告）日 ：
2007-09-26
申请日 ：
2005-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大林哲郎井口昌司
申请人 ：
株式会社大阪真空机器制作所
申请人地址 ：
日本大阪
代理机构 ：
北京德琦知识产权代理有限公司
代理人 ：
陆弋
优先权 ：
CN200580036121.0
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2009-07-22 ：
授权
2007-12-12 ：
实质审查的生效
2007-09-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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