涡轮分子泵
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种涡轮分子泵，提高了涡轮泵部的下游侧的定子翼的温度控制性。涡轮分子泵包括：涡轮泵部，具有沿轴向多段地排列的转子翼(30)及定子翼(33)；拖动泵部，设于涡轮泵部的下游侧；罩壳(11)，收容涡轮泵部；底座(21)，收容拖动泵部；以及调温单元(55)，设于罩壳(11)与底座(21)之间，调温单元(55)包含与罩壳(11)及底座(21)一起构成泵框体的调温间隔件(24)、以及设于调温间隔件(24)的冷却水配管(45)、加热器(42)及温度检测部(43)。
基本信息
专利标题 ：
涡轮分子泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114427539A
申请号 ：
CN202111059554.5
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2021-09-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
清水幸一
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛恒
优先权 ：
CN202111059554.5
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04 F04D29/52 F04D29/58
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04D 19/04
申请日 : 20210910
申请日 : 20210910
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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