一种高真空涡轮分子泵
公开
摘要

本发明公开了一种高真空涡轮分子泵,包括泵体、旋转轴、轴承、驱动系统、若干涡轮叶片、若干定子叶片以及防污板,其中防污板为圆环形状,设置于旋转轴上且位于轴承上方,并与轴承之间留有间隙,轴承顶端与泵体底面的高度基本一致;防污板的底面设置有多个弧形凹槽,从而将防污板的底面分割成多块,弧形凹槽的凸面指向的方向与旋转轴的旋转方向相反。旋转轴通过驱动系统的驱动进行旋转时,同时带动防污板进行旋转,防污板通过弧形凹槽形成由下向上的气流,这股气流遇到防污板后,将转变为沿水平方向且向外排出的气流,从而避免流入到泵体中的杂质再流入并蒸镀在轴承上,避免轴承加速磨损以致无法准确支撑旋转轴。

基本信息
专利标题 :
一种高真空涡轮分子泵
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114576181A
申请号 :
CN202210477836.5
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-05-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
朴兴雨朱宁炳
申请人 :
成都高真科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市高新区科新路8号附19号
代理机构 :
成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 :
张杰
优先权 :
CN202210477836.5
主分类号 :
F04D19/04
IPC分类号 :
F04D19/04  F04D29/046  F04D29/52  F04D29/66  F04D29/70  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空,例如分子泵
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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