盘形涡轮分子泵
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种改进的盘形分子泵。该泵可由一级或多级串联构成。每一级由一片带有涡轮叶齿的旋转圆盘和一片在盘面上开有圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。定圆盘上抽气沟槽也可以是其他线形，如对数线形。多级泵定圆盘的两侧面都有抽气沟槽。本泵具有制造工艺简单，抽气性能好等特点。
基本信息
专利标题 ：
盘形涡轮分子泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87103982A
申请号 ：
CN87103982.6
公开（公告）日 ：
1988-12-21
申请日 ：
1987-06-03
授权号 ：
CN1009297B
授权日 ：
1990-08-22
发明人 ：
朱岳王孝珍竺长新
申请人 ：
中国科学院北京真空物理实验室
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村
代理机构 ：
中国科学院专利事务所
代理人 ：
关玲
优先权 ：
CN87103982.6
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2003-08-06 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-03-20 ：
其他有关事项
1991-08-21 ：
授权
1990-08-22 ：
审定
1989-08-09 ：
实质审查请求
1988-12-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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