压入式冷焊密封方法和装置
发明专利申请公布后的驳回
摘要
提供了压入式冷焊方法、连接结构和真空密封的容纳装置。所述方法包括提供第一基片,该第一基片具有包括第一金属的第一连接表面构成的至少一个第一连接结构;提供第二基片,该第二基片具有包括第二金属的第二连接表面构成的至少一个第二连接结构;将所述至少一个第一连接结构和至少一个第二连接结构压到一起,以使连接表面在一个或多个接触面上局部地产生变形和剪切,总体效果上达到在连接表面的第一金属和第二金属之间形成一种金属对金属的结合。连接表面处的重叠有效地移除了表面杂质,并在没有热量输入的情况下在连接表面之间便利地产生紧密接触。真空密封装置可包括药物组分、生物传感器或MEMS装置。
基本信息
专利标题 :
压入式冷焊密封方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101080359A
申请号 :
CN200580037866.9
公开(公告)日 :
2007-11-28
申请日 :
2005-11-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
乔纳森·R.·科佩塔库尔特·谢尔顿小诺曼·F.·谢泼德道格拉斯·B·斯内尔凯瑟琳·M·B·圣蒂尼
申请人 :
微芯片公司
申请人地址 :
美国马萨诸塞
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
李勇
优先权 :
CN200580037866.9
主分类号 :
B81B7/00
IPC分类号 :
B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统,例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
法律状态
2015-10-07 :
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101721635450
IPC(主分类) : H01L 23/057
专利申请号 : 2005800378669
申请公布日 : 20071128
号牌文件序号 : 101721635450
IPC(主分类) : H01L 23/057
专利申请号 : 2005800378669
申请公布日 : 20071128
2008-01-23 :
实质审查的生效
2007-11-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载