一种RF空腔谐振器(400)，包括用于容纳RF场的谐振器腔(410)；耦合到该谐振器腔的RF耦合元件(450，452)，用于将RF场引导到谐振器腔中和从谐振器腔提取RF场；使RF场以所需的频率谐振的调谐组件(420)，其中该调谐组件的至少一部分耦合在谐振器腔内；以及传输来自RF空腔谐振器的热量的热传输元件(440)，其中该热传输元件的至少一部分耦合在谐振器腔内，该热传输元件包括相变材料、用于封闭该相变材料的壳体、循环壳体内该相变材料的装置和隔离该相变材料和RF场的导电表面。