一种频率可调的薄膜体声波谐振器
授权
摘要
本实用新型公开了一种频率可调的薄膜体声波谐振器，包括：衬底、底电极、调谐层、压电层以及顶电极，底电极设置在衬底的上表面，调谐层设置在底电极的上表面，压电层设置在调谐层的上表面，顶电极设置在压电层的上表面，底电极和顶电极均连接有电极引出结构以在顶电极和底电极之间施加直流偏压，调谐层的有效面积大于顶电极的有效面积且大于底电极的有效面积；压电层内填充有导热层。该谐振器在底电极上加入调谐层，从而在现有电路的基础上集成一个可变电容，外加直流偏压时压电层产生形变，通过偏压调整形变量从而控制可变电容的大小，在减小对FBAR品质因数影响的同时，实现对FBAR谐振频率的控制。
基本信息
专利标题 ：
一种频率可调的薄膜体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020958671.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-27
授权号 ：
CN213125990U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
李国强
申请人 ：
广州市艾佛光通科技有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区金中路23号自编一栋办公区303房
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
毕晓萌
优先权 ：
CN202020958671.X
主分类号 ：
H03H9/15
IPC分类号 ：
H03H9/15
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
