一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器
授权
摘要
本实用新型公开了一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器，由上至下依次包括电极铝、压电基片、温度补偿层及衬底；所述衬底设有空腔，空腔与贯穿于温度补偿层、压电基片的释放通孔相通，所述压电基片为单晶材料。本实用新型在不改变压电基片的厚度情况下，谐振器的中心频率随着电极对激励方向的改变而发生变化。
基本信息
专利标题 ：
一种频率可调的横向场激励薄膜体声波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921179868.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-25
授权号 ：
CN210431367U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
章秀银薛艳梅吴子莹周长见
申请人 ：
华南理工大学
申请人地址 ：
广东省广州市天河区五山路381号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
王东东
优先权 ：
CN201921179868.7
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02 H03H9/02 H03H9/13 H03H9/17
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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