具有多隔膜厚度的横向激励薄膜体声波谐振器及制作方法
实质审查的生效
摘要
公开了滤波器器件和方法。滤波器器件包括具有表面的衬底。单晶压电板的背面附接到衬底的表面，单晶压电板的部分形成跨越衬底中的各个空腔的多个隔膜。导体图案在压电板的正面上形成，该导体图案包括多个谐振器的多个叉指换能器(IDT)。多个IDT中的至少一个第一IDT的交错指状物设置在具有第一厚度的隔膜上，并且多个IDT中的至少一个第二IDT的交错指状物设置在具有小于第一厚度的第二厚度的隔膜上。
基本信息
专利标题 ：
具有多隔膜厚度的横向激励薄膜体声波谐振器及制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503295A
申请号 ：
CN202080070413.0
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
温切斯拉夫·扬捷切夫帕特里克·特纳罗伯特·B·哈蒙德
申请人 ：
谐振公司
申请人地址 ：
美国德克萨斯州
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
董科
优先权 ：
CN202080070413.0
主分类号 ：
H01L41/047
IPC分类号 ：
H01L41/047
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 41/047
申请日 : 20200810
申请日 : 20200810
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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